Pascal Meyer de Deluz

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Franz PfeifferProfessor for Physics, Technical University of MunichBestätigte E-Mail-Adresse bei tum.de
Joachim SchulzKarlsruhe Insititue of Technology, Forschungszentrum Karlsruhe, microworks KarlsruheBestätigte E-Mail-Adresse bei kit.edu
Danays Kunka; D. Kunka; Danays Mor...Researcher at Karlsruhe Institute of Technology (KIT) - Institute of Microstructure Technology (IMT)Bestätigte E-Mail-Adresse bei kit.edu
Julia HerzenTechnische Universität MünchenBestätigte E-Mail-Adresse bei tum.de
Michel FrommUMR CNRS 6249 Chrono-Environnement, Université de Franche-ComtéBestätigte E-Mail-Adresse bei univ-fcomte.fr
Anton, GiselaErlangen University, Department of PhysicsBestätigte E-Mail-Adresse bei fau.de
Jens RiegerScientific Assistant; University Erlangen-Nürnberg (FAU)Bestätigte E-Mail-Adresse bei fau.de
Jan G. KorvinkKarlsruhe Institute of Technology (KIT)Bestätigte E-Mail-Adresse bei kit.edu
Marcus ZuberBestätigte E-Mail-Adresse bei kit.edu
Prof. Yi QinProfessor of Manufacturing Technology and Systems, The University of Strathclyde, UKBestätigte E-Mail-Adresse bei strath.ac.uk
Marian WillnerPhysics Department, Technische Universtität MünchenBestätigte E-Mail-Adresse bei ph.tum.de
James ClaverleyHigher Research Scientist, National Physical LaboratoryBestätigte E-Mail-Adresse bei npl.co.uk
Richard LeachUniversity of NottinghamBestätigte E-Mail-Adresse bei nottingham.ac.uk
Freddy Torrealba AnzolaLaboratoire Chrono-Environnement UMR6249. Université de Bourgogne Franche-ComtéBestätigte E-Mail-Adresse bei ucla.edu.ve
Thomas HanemannUniversity Freiburg & Karlsruhe Institute of TechnologyBestätigte E-Mail-Adresse bei kit.edu
Yoshikazu HIRAIJunior Associate Professor, Kyoto UniversityBestätigte E-Mail-Adresse bei me.kyoto-u.ac.jp

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Pascal Meyer de Deluz

Institut für Mikrostrukturtechnik - Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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X-ray lithography X-ray imaging Microfabrication Metrology


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Micromanufacturing engineering and technology Y Qin William Andrew, 2010	386	2010
LIGA and its Applications U Wallrabe, O Tabata, JG Korvink Wiley-VCH 7, 51-68, 2009	150	2009
In-vivo x-ray dark-field chest radiography of a pig LB Gromann, F De Marco, K Willer, PB Noël, K Scherer, B Renger, ... Scientific reports 7 (1), 4807, 2017	114	2017
Dark-field computed tomography reaches the human scale M Viermetz, N Gustschin, C Schmid, J Haeusele, M von Teuffenbach, ... Proceedings of the National Academy of Sciences 119 (8), e2118799119, 2022	81	2022
Nondestructive characterization of fiber orientation in short fiber reinforced polymer composites with X-ray vector radiography F Prade, F Schaff, S Senck, P Meyer, J Mohr, J Kastner, F Pfeiffer Ndt & E International 86, 65-72, 2017	74	2017
Large field-of-view tiled grating structures for X-ray phase-contrast imaging TJ Schröter, FJ Koch, P Meyer, D Kunka, J Meiser, K Willer, L Gromann, ... Review of Scientific Instruments 88 (1), 2017	52	2017
Quantitative imaging using high-energy X-ray phase-contrast CT with a 70 kVp polychromatic X-ray spectrum A Sarapata, M Willner, M Walter, T Duttenhofer, K Kaiser, P Meyer, ... Optics express 23 (1), 523-535, 2015	51	2015
DoseSim: Microsoft-Windows graphical user interface for using synchrotron x-ray exposure and subsequent development in the LIGA process P Meyer, J Schulz, L Hahn Review of Scientific Instruments 74 (2), 1113-1119, 2003	51	2003
Intercomparative study of the detection characteristics of the CR-39 SSNTD for light ions: present status of the Besancon-Dresden approaches C Brun, M Fromm, M Jouffroy, P Meyer, JE Groetz, F Abel, A Chambaudet, ... Radiation measurements 31 (1-6), 89-98, 1999	51	1999
Investigations of the development rate of irradiated PMMA microstructures in deep X-ray lithography P Meyer, A El-Kholi, J Schulz Microelectronic Engineering 63 (4), 319-328, 2002	46	2002
Ion track etching in isotropic polymers: etched track shape and detection efficiency M Fromm, P Meyer, A Chambaudet Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam …, 1996	40	1996
Time resolved X-ray dark-field tomography revealing water transport in a fresh cement sample F Prade, K Fischer, D Heinz, P Meyer, J Mohr, F Pfeiffer Scientific reports 6 (1), 29108, 2016	36	2016
Deep x-ray lithography P Meyer, J Schulz, V Saile Micromanufacturing Engineering and Technology, 365-391, 2010	32	2010
On the origin and nature of the grating interferometric dark-field contrast obtained with low-brilliance x-ray sources T Koenig, M Zuber, B Trimborn, T Farago, P Meyer, D Kunka, F Albrecht, ... Physics in Medicine & Biology 61 (9), 3427, 2016	31	2016
Increasing the field of view in grating based X-ray phase contrast imaging using stitched gratings J Meiser, M Willner, T Schröter, A Hofmann, J Rieger, F Koch, ... Journal of X-ray science and technology 24 (3), 379-388, 2016	31	2016
Why you will use the deep X-ray LIG (A) technology to produce MEMS? P Meyer, J Schulz, L Hahn, V Saile Microsystem Technologies 14, 1491-1497, 2008	29	2008
Large-area full field x-ray differential phase-contrast imaging using 2D tiled gratings TJ Schröter, FJ Koch, D Kunka, P Meyer, S Tietze, S Engelhardt, M Zuber, ... Journal of Physics D: Applied Physics 50 (22), 225401, 2017	27	2017
X-ray grating interferometry at photon energies over 180 keV M Ruiz-Yaniz, F Koch, I Zanette, A Rack, P Meyer, D Kunka, A Hipp, ... Applied Physics Letters 106 (15), 2015	26	2015
Note: Gratings on low absorbing substrates for x-ray phase contrast imaging FJ Koch, TJ Schröter, D Kunka, P Meyer, J Meiser, A Faisal, MI Khalil, ... Review of Scientific Instruments 86 (12), 2015	24	2015
A new method for reading CR-39 by using coherent light scattering JE Groetz, A Lacourt, P Meyer, M Fromm, A Chambaudet, J Potter Radiation protection dosimetry 85 (1-4), 447-450, 1999	23	1999

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